• CN：11-2187/TH
  • ISSN：0577-6686
机械工程学报
碳化硅圆柱槽微结构表面的化学机械抛光
赵清亮， 孙智源， 郭兵
Chemical Mechanical Polishing of Micro-structures on SSiC
ZHAO Qingliang, SUN Zhiyuan, GUO Bing
机械工程学报 . 2015, (15): 183 -189 .  DOI: 10.3901/JME.2015.15.183

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