• CN：11-2187/TH
  • ISSN：0577-6686
机械工程学报
一种快速检测单晶硅亚表面损伤层厚度的方法
徐乐, 郭剑, 余丙军, 钱林茂
Rapid Detection on the Thickness of Sub-surface Damage Layer of Silicon
XU Le, GUO Jian, YU Bingjun, QIAN Linmao
机械工程学报 . 2016, (11): 108 -114 .  DOI: 10.3901/JME.2016.11.108

版权所有 © 2019 《机械工程学报》编辑部 | 京ICP备05055788号-30