• CN：11-2187/TH
  • ISSN：0577-6686
机械工程学报
半导体硅电极多通道放电机理研究
邱明波, 傅炯波, 段亚俊, 沈理达, 韩云晓
Study on Multi-channel Discharge Mechanism of Semiconductor Silicon Electrode
QIU Mingbo, FU Jiongbo, DUAN Yajun, SHEN Lida, HAN Yunxiao
机械工程学报 . 2019, (21): 208 -214 .  DOI: 10.3901/JME.2019.21.208

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