• CN：11-2187/TH
  • ISSN：0577-6686
机械工程学报
基于灰色辨识的光刻机恒温控制系统建模
聂宏飞;李小平
Modeling for Lithography Temperature Control System Based on Gray Identification
NIE Hongfei;LI Xiaoping
. 2008, (1): 98 -101 . 

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