• CN：11-2187/TH
  • ISSN：0577-6686
机械工程学报
面向MEMS制造的高速精密定位平台的动力学仿真和结构设计
赵兴玉;冯晓梅;武一民;张大卫
DYNAMIC SIMULATION AND DESIGN OF HIGH SPEED PRECISION POSITIONING TABLE
ZHAO Xingyu;FENG Xiaomei;WU Yimin;ZHANG Dawei
. 2006, (8): 114 -119 . 

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