• CN：11-2187/TH
  • ISSN：0577-6686
机械工程学报
外差干涉比相技术在纳米测量中的应用
侯文玫;裘惠孚
THE APPLICATION OF THE HETEODYNE PHASE COMPARING INTERFERENCE IN NANO-MTEER MEASUREMENT
Hou Wenmei;Qiu Huifu
. 1987, (4): 13 -17 . 

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