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摘要：基于电化学腐蚀原理加工微机械加工中使用的微圆柱体，对微细圆柱体成形的机理进行详细的分析。通过对腐蚀过程进行理论建模，利用对电压和腐蚀时间的控制来决定腐蚀后微圆柱体成形的形状以及圆柱体直径尺寸大小。同时，对影响微圆柱体成形的试验参数进行详细的分析，如对电压的控制、电流的变化、电解液浓度的影响、腐蚀时间决定的微圆柱体直径大小等，最后得出微圆柱体成形的规律。理论模型计算结果与试验结果进行比较，证明了理论建模的正确性。利用此种方法试验加工出总长1180μm，前端较细处长300μm，直径6μm的钨微细圆柱体结构，长径比达到50∶1，并可以在微细加工作为工具电极使用。
关键词：电化学腐蚀
微圆柱体
微细加工
中图分类号：TN16
TG662
国家自然科学基金资助项目(50375073)。20050714收到初稿，20051216收到修改稿
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