压电驱动微泵泵膜振动有限元分析

王立文1  高殿荣2  杨林杰2  李  岩2  王广义2  范卓立2

(1. 中国民用航空学院科技处  天津  300300；

2. 燕山大学机械工程学院  秦皇岛  066004)

摘要：以压电驱动微泵泵膜为研究对象，分析了压电复合泵膜膜片的弹性曲面微分方程，建立了泵膜膜片有限元数值模拟的模型，对泵模膜态进行了计算和分析，模拟并分析了驱动电压、泵膜压电层半径与泵膜单晶硅层半径之比、单晶硅层厚度、压电层厚度对泵膜位移的影响。所作研究为压电驱动微泵的优化设计提供了理论依据。

关键词：压电驱动  微泵  泵膜  振动  有限元法

中图分类号：TH323

20050425收到初稿，20050816收到修改稿