宋亦旭1  王健发2  杨开明2  尹文生2  朱  煜2  贾培发1

(1. 清华大学智能技术与系统国家重点实验室  北京  100084；

2. 清华大学精密仪器与机械学系  北京  100084)

摘要：在分析粗精动控制系统的耦合及轨迹分配等问题的基础上，介绍叠层试验台高速高精度直线运动的实现：采用永磁直线交流电动机驱动粗动台，粗动台行程大但带宽较低；音圈电动机驱动精动台，精动台带宽高但行程较小。用绝对空间闭环方式实现试验台的粗精运动控制，这种方法可以忽略粗动台对精动台的惯性力扰动，精动台直接跟踪给定轨迹，粗动台跟踪精动台的运动轨迹防止精动台发生运动饱和。试验结果表明，精动台显著提高了系统的定位和跟踪精度，该控制方法使叠层试验台的高速高精度运动得以方便实现。

关键词：叠层台  粗精控制  轨迹跟踪

中图分类号：TP24
20040916收到初稿，20050307收到修改稿