化爆材料瞬态切削温度的NiCr/NiSi
薄膜热电偶温度传感器的研制

曾其勇1   孙宝元1   徐  静1   贾  颖1   崔云先1

邓新禄2   徐  军2

(1. 大连理工大学精密与特种加工教育部重点实验室  大连  116024；

2. 大连理工大学三束国家重点实验室  大连  116024)

摘要：针对化爆材料的切削特点，研制出一种集切削和测温功能于一体的NiCr/NiSi薄膜热电偶快速响应温度传感器。用多弧离子镀将NiCr/NiSi热电偶薄膜直接镀于高速钢刀头内。薄膜热电偶电极与高速钢之间采用最先进的多层镀膜法绝缘，即用微波ECR等离子体源增强射频反应非平衡磁控溅射技术首次成功在W18Cr4V高速钢基底上沉积绝缘性能良好的SiO₂膜。对研制的薄膜热电偶温度传感器进行了静态和动态标定，结果表明传感器在0～600 ℃测温范围内具有很好的线性和热稳定性，而且响应快，时间常数小于0.8 ms。热电偶薄膜与绝缘膜、绝缘膜与基体之间有足够的附着强度。该温度传感器已安装在现场使用，为国防工业部门的高效、安全生产提供了有力的保障。

关键词：薄膜热电偶  切削温度  磁控溅射  离子镀  化爆材料

中图分类号：TH81

中国工程物理研究院重大基金资助项目(2001Z0301)。20050215收到初稿。20050829收到修改稿