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摘要：在电阻电热式微推进器中，用体硅设计制作了立柱状结构的加热电阻。典型的加热电阻柱横断面积为240μm×60μm，高度为150μm，沟槽的宽度为50μm。采用ICP(诱导耦合等离子)工艺制作。利用杂质半导体材料的电阻率随温度的变化特性，在施加恒流源的情况下，可以使加热电阻的工作温度具有自动调节功能，保持在本征温度附近，避免烧毁电阻。理论分析和试验结果证实了这种加热电阻的可行性及其温度自动调节功能。试验测量的74Ω的加热电阻的本征温度为550K，与理论预测值相符。
关键词：MEMS 微推进器 加热电阻 自动调节
中图分类号：V43
国家973计划基金资助项目(G1999033106)。20050118收到初稿，20050704收到修改稿
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