|
摘要：针对微机电系统(Microeletro mechanical system, MEMS)技术和超精密加工技术局限，开展面向介观尺度微细铣削技术的研究。首先根据介观尺度铣削的加工特点，对其机理研究的关键问题进行详细的分析和讨论，提出微细铣削理论的研究重点及研究方法。然后在分析微细铣削成形条件和加工要求的基础上，开发微型铣床系统，并对系统各组成子系统及性能指标进行描述。最后开展机床加工性能评估试验，通过精度测量、误差分析和误差补偿提高工作台的定位精度达到1.62 μm，采用直径0.127 mm铣刀开展微铣削试验，通过表面粗糙度测量和同心圆切削试验评估机床的加工精度，在此基础上通过复杂零件加工实例进一步说明机床的加工能力，论证小型化机床加工技术的可行性和实用性。
关键词：介观尺度 微细制造 铣削加工 微型机床
中图分类号：TH16
国家自然科学基金(50575134)和上海交通大学211重点建设基金(W221702003)资助项目。20051102收到初稿，20060615收到修改稿
|