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摘要：提出一种新型的压电精密步进旋转驱动器。该驱动器以仿生运动的原理，以压电陶瓷叠堆为动力源，采用定子内侧箝位的方式和薄壁柔性铰链微变形结构，提高该驱动器箝位的稳定性和步进旋转的稳定性。通过静力学有限元分析和动力学分析，较深入地研究了该驱动器的运动特性，并对驱动器旋转分辨率、旋转速度、驱动转矩等方面进行试验研究。研制的内箝位型压电精密步进旋转驱动器能够实现高频率(40 Hz)，较高速度(325 μrad /s)，大行程(大于360°)，高分辨率(1 μrad)，较大驱动力矩(30 N•cm)等特点，有效提高了压电精密步进旋转驱动器的驱动性能。该驱动器在精密运动、微操作、光学工程以及精密定位等精密工程中具有广阔的应用前景。
关键词：压电陶瓷叠堆 定子内侧箝位 薄壁柔性铰链 有限元分析 分辨率
中图分类号：TN384
国家863计划资助项目(2002AA423150)。20051117收到初稿，20060718收到修改稿
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