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摘要：针对制作参数对制作分辨率的影响，利用高分辨率激光快速成形系统进行了试验研究。研究表明，制作时激光功率与光束扫描速度的比值越小，则制作的单壁结构厚度越小。采用准确的线宽补偿、较小的激光功率及具有较高临界曝光量的光敏树脂，可制作出具有较小槽宽尺寸的细微槽状结构。制作出了壁厚为0.011 mm的单壁结构及槽宽为0.034 mm的槽状结构。试验结果表明，该快速成形系统有很高的制作分辨率，具有制作扫描平面内细微结构的能力。
关键词：高分辨率
光固化
制作
细微结构
制作参数
中图分类号：TG665
国家863高科技项目(2002AA2Z4081，2001AA242101)及全国优秀博士学位论文(200026)资助项目。20041001收到初稿，20050306收到修改稿
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