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摘要：与传统探针相比，使用碳纳米管探针能探测到更精细的样本表面形貌，为减小针尖形貌和尺寸造成的测量误差提供了一个良好途径。然而，在普通探针上黏贴碳纳米管时总是难以避免地出现一个倾斜角度，它使得对刻线样本进行测量时只能获得单侧较精确的边墙数据，而另外一侧失真较大。提出一种双图像拼接方法，样本在经过一次测量以后被旋转180°，然后重新测量，分别保留两次测量中较好的一侧边墙测量数据，并把它们拼接成一幅更接近真实样本的图像。采用基于ICP算法的图像配准技术匹配两次测量图像，消除两次测量的位置偏差，并应用双线性插值和最小二乘拟合方法对配准后的图像进行处理，计算得到更准确的线宽和边墙角等单刻线样本的特征尺寸值。
关键词：原子力显微镜
碳纳米管 双图像拼接法 图像配准
中图分类号：TB92
中国留学生基金委员会和美国国家标准与技术研究院(NIST)资助项目。20040911收到初稿，20050115收到修改稿
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