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摘要：围绕微细点火花加工的关键技术，开发出了具有4轴3联动的微细电火花加工装置。阐述了利用该装置实现微细电火花加工的关键技术和实现途径。包括微能脉冲电源的设计实现；通过选择适当的伺服控制策略，解决了伺服机构在小位移进给时所存在的爬行问题；探索了微细电极的在线制作与检测方法，并分析了在线检测方法存在的误差。在该装置上进行了大量的加工试验，试验已加工出最小直径为12mm的微细轴和25mm的微细孔，并实现了具有空间自由曲面的，大小为1mm×0.3 mm×0.18mm微脸谱雕塑的加工。
关键词：微细电火花加工
微能脉冲电源
伺服控制策略
电极在线制作与检测
微三维结构
中图分类号：TG661
国防基础科研资助项目(K1400061102)。20030926收到初稿，20040426收到修改稿
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