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摘要：提出一种新型压电驱动单级电液伺服阀，其特点是可以提供比传统电磁式电液伺服阀更高的频宽与分辨率，而且结构紧凑、抗污染能力强。该阀采用大行程的压电叠堆(积层式压电驱动器)作为驱动元件直接驱动滑阀，通过基于弹性变形原理的弹性板机构，结合电阻应变式微位移传感器，实现机构及检测一体化。应用有限元法对弹性板机构进行分析优化，试制了直动式压电伺服阀样机并对样机进行了试验研究，得出该阀的频宽约为1
kHz。新型伺服阀可以应用于振动试验台、疲劳试验台及需要快速反应的流体控制系统中，提高系统的响应特性。
关键词：压电驱动
弹性板机构
直动式
电液伺服阀
中图分类号：TH137
20031209到初稿，20040628收到修改稿 |