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摘要：多层悬臂梁MEMS器件具有广泛的应用，其吸合电压对器件性能有重要影响。通过选取合适的挠度试函数，并考虑多层悬臂梁中的绝缘层对等效间隙高度的影响，运用能量法分析了多层悬臂梁在静电作用下的弯曲情况。推导出了梁在发生吸合现象时，其自由端归一化的挠度值和对应的吸合电压的解析表达式。用Coventor软件中的CoSolveEM模块验证所得公式，表明模型具有较高的精度。所得结论对静电执行结构设计具有一定的参考价值。
关键词：多层悬臂梁
挠度试函数
等效间隙高度
吸合
中图分类号：TN304.07
TN401
20030507收到初稿，20040320收到修改稿
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