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摘要:介绍了一种基于尺蠖运动原理的大行程纳米级步距压电电动机。在结构设计方面,变传统单驱动器结构为双驱动器结构,采用新颖的推—拉接力运动原理,配以适当的四路驱动信号,实现了压电电动机的连续匀速运动。通过试验对电动机的性能进行了测试,结果表明:电动机的运动位移是线性的,运动速度在驱动电压为300V时可达12mm/s,最小步距小于6nm,行程大于10mm。
关键词:压电电动机
尺蠖运动
纳米驱动
纳米定位
中图分类号:TM282
国家自然科学基金资助项目(50105016)。20030813收到初稿,20040210收到修改稿
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