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摘要：在微机械设备中，由于制造方面的原因，存在诸如结构断裂、结构固定等缺陷，这些缺陷严重影响微机械设备的性能。通过建立微梁单元的三维动力学模型，应用节点分析方法，分别对带有微梁断裂、结构固定的微机械结构进行了动力学特性分析。计算结果表明微梁断裂使微机械结构的刚度降低，从而导致其固有频率变低，而结构固定则相反。
关键词：微型机械
缺陷
动力学模型
模态分析
中图分类号：TH05
国家自然科学基金(50105007)和教育部“跨世纪优秀人才培养计划”基金资助项目。20030404收到初稿，20030720收到修改稿
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