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摘要：获得系统的宏模型是MEMS系统级建模与仿真的关键。将Krylov子空间理论与方法应用于MEMS降阶建模，介绍了Krylov子空间的理论基础，针对MEMS中常见的静电－结构耦合系统，建立了有限元动力学方程，运用修正Arnoldi算法得到降阶模型。算例表明，经大幅度降阶得到的模型真实地反映了系统地运动状态，大大缩短了求解时间，降低了计算复杂度。
关键词：MEMS
子空间
宏模型
耦合
有限元
中图分类号：TN402
国家自然科学基金资助项目(50275127)。20030706收到初稿，20031215收到修改稿
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