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摘要:针对补偿负刚度后的静电轴承-转子系统模型,讨论了PID控制参数与动刚度特性的关系,为根据刚度指标确定控制参数提供了理论依据。对三自由度静电球轴承的动刚度分析与实验结果表明,系统在低频与高频段具有较高的支承刚度,而中频刚度较低,刚度幅频特性曲线呈“浴盆”状。在系统通频带内,动态刚度主要由控制器参数决定,
而高频刚度主要取决于转子的惯性项。在系统稳定区域,改变控制器参数可以灵活设定系统的动刚度特性。
关键词:静电轴承
动刚度
静电悬浮 PID控制
中图分类号:TH133.3
TN701.17
国防基础与应用研究“十五”预研(41309020)和河南省青年骨干教师资助项目。20030221收到初稿,20030714收到修改稿
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