逐级递推式超精密温度控制策略研究

胡旭晓  杨克己

(浙江大学现代制造工程研究所  杭州  310027)

台宪青

(中科院自动化研究所)

摘要：在充分考虑周围环境影响被控对象的基础上，建立具有纯时滞的温度控制数学模型，并提出逐级递推式超精密温度控制策略。当环境温度变化6 ℃时，采用提出的控制策略进行试验及仿真研究，被控对象试验及仿真的控制精度分别达到±0.01 ℃和±0.002 ℃。

关键词：精密温度  逐级递推  控制策略

中图分类号：TH161

国家“863”高科技基金资助项目(2002AA423110)。20020910收到初稿，20030630收到修改稿