微机电系统中微摩擦特性及控制研究

                                           刘  莹             　 温诗铸

(南昌大学机电工程学院  南昌  330029)    (清华大学)

摘要：针对微机电系统设计中存在的微摩擦问题，论述了开展微观摩擦研究的意义和必要性。全面总结了微摩擦基本特性研究的进展，包括微观摩擦与宏观摩擦的对比，微观摩擦与表面形貌的相关性，以及粘滑现象等。提出了控制微摩擦特性的一些主要研究方向。

关键词：微机电系统  微摩擦  特性与控制

中图分类号：TH117

国家自然科学基金重点资助项目(59735110)。20010816收到初稿，20011026收到修改稿