微晶玻璃低温抛光表面微观形貌的研究

张飞虎  谢大纲  赵清亮

(哈尔滨工业大学机械工程及自动化系  哈尔滨  150001)

韩荣久  裴  舒

(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所) 

摘要：揭示了微晶玻璃的内部微观结构、其组成成分的结晶相和玻璃相、晶粒尺寸的测定，重点分析了超精密低温抛光后微晶玻璃的表面形貌和表现出来的微观表面缺陷。

关键词：微晶玻璃  抛光  结晶相  玻璃相  表面形貌  表面粗糙度

中图分类号：TG580.692

国家自然科学基金资助项目(59775072)。选自2000年第一届国际机械工程学术会议论文集，20010712收到修改稿