• CN：11-2187/TH
  • ISSN：0577-6686
机械工程学报
PMN-PZT多层厚膜微致动器的制作与分析
荆阳;雒建斌;路新春;张力
FABRICATION AND ANALYSIS OF PMN-PZT MULTILAYER THICK-FILM MICRO-ACTUATOR
Jing Yang;Luo Jianbin;Lu Xinchun;Zhang Li
. 2005, (3): 107 -111 . 

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