熔石英光学元件的CO2激光加工技术研究新进展
赵林杰, 程健, 陈明君, 袁晓东, 廖威, 杨浩, 刘启, 王海军
New Progress of CO2 Laser Processing Techniquesfor Fused Silica Optics
ZHAO Linjie, CHENG Jian, CHEN Mingjun, YUAN Xiaodong, LIAO Wei, YANG Hao, LIU Qi, WANG Haijun
机械工程学报
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2020, (11): 202
-218
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DOI: 10.3901/JME.2020.11.202